工業用洗浄剤・洗浄機メーカーです。有機溶剤代替に使用できる有機則・PRTR非該当の環境対応型洗浄剤イレイザシリーズをはじめ、薄膜ガラス洗浄装置やプラスチックの洗浄装置等。ガラス・金属・プラスチック(樹脂)を軸に産業洗浄に広く貢献致します。

薄膜ガラス洗浄装置【EREZAC】~不良の少ない薄膜硝子洗浄・有機EL洗浄・フィルム洗浄!

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EREZACタイトル

EREZAC写真

液晶・携帯・半導体・光学機器・タッチパネル・有機EL・フィルム

応用圧力に影響なく薄膜ガラス等の洗浄を可能としました。

より精密に、より早い洗浄を可能にした洗浄機がEREZACです。

(PAT申請中)

0.1mm以下のガラス洗浄も可能

EREZACは最小限のストレスで最大限の物理力を発揮。

これにより困難とされていた薄膜ガラスを効果的に洗浄します。

これからのガラスの薄膜化に大きく貢献できる洗浄機です。

硝子洗浄ワークイメージ画像

多様性だが汎用機

EREZACはガラス、ウエハ、レンズからフィルムまでの洗浄が可能。

治具やツールを変えるだけで幅広いワークに対応します。

より効果的な治具やツールの提案もご一緒に致します。

取り換えも簡単で余計なストレスを与えません。

大幅な時間短縮が可能

完全なウエット下によるファンデルワールス力の低下と

十分な摩擦効果により、洗浄時間の大幅な短縮を可能にしました。

(ページ下部に試験データあり)

洗浄イメージ画像

シンプルでコンパクト

誰でも使用できるようにシンプルな構造にまとめあげました。

動作は押しボタンスイッチ4つで、操作もメンテナンスも

容易にしました。サイズも操作BOX含めて

W960×D1220×H1500と作業スペースも取りません。

精密洗浄が可能です

洗浄を化学的に捉える事でシンプルな構造で高い洗浄効果を実現しました。

弊社洗浄剤“イレイザシリーズ”と組み合わせることで

イオンレベルでの洗浄を可能にします。

(ページ下部にデータあり)

精密洗浄イメージ
資料請求、洗浄のご相談などはお問い合わせフォームより依頼下さい。

日刊工業新聞取材記事

EREZAC取材記事

2016年12月6日

http://www.nikkan.co.jp/articles/view/00409181

テストピース材の選定と準備

洗浄試験データ

①テストワーク材/ 強化硝子(ゴリラ)
②テストピースカット/ ダイシング(切削液・水)
10×10×0.5(分類1)27×24×0.5(分類2) 前処理洗浄
n- ヘキサンで4回/5 min ビーカーを変えて、前
洗浄を行った。
ただし、Eピースは除く。
人工汚染
ゼブラ社の油性マッキー赤を塗布。
尚、下記のDピース、Eピースは塗布しない。
又、塗布後、常温下(20℃)にて24h経過のワークにて行った。

テスト洗浄内訳

※ナトリウム水(水酸化ナトリウム25%のもの)       ※超音波洗浄(100V150W 25K/HZ)        ※IPA(2- プロパノール)                                ※炭化水素(イソパラフィン系炭化水素)       ※ピースNo は区分と分類を含めたもの

テストピースの洗浄後の評価内訳

分光透過率測定(正透過率)
SolidSpec-3700DUV(島津)

A1(RCM 洗浄)とC1 は優れた数値に至ったが、C1 は、
すすぎのIPA に助けられた経緯があって、この値
に達した。次にB1 は最後まで、ナトリウム反応
が硝子面に残ってしまった。ただ、本テストでも
う一つ注視しなければならないのは、RCM 洗浄は、
超音波洗浄に対し、約2.5 倍の短時間で洗浄した
事にある。この事は、コスト(イニシャルとラン
ニング)に大きな影響を与えると思われる。

分光透過率

飛行時間型二次イオン質量分析

計測器:TRIFTⅢ(アルバック) 「A-1」、「B-1」、および「C-1」の比較から、「A
-1」から含ケイ素有機化合物由来の信号
(m/z28,43,73( 正イオン)) と鉄由来の信号
(m/z56( 正イオン)) が相対的に多く検出されたの
に対して、「B-1」と「C-1」からフッ素化合物
由来の信号が(m/z31,50,69( 正イオン),19( 負イ
オン)) と塩素由来の信号(m/z35,37( 負イオン))
が相対的に多く検出された。「D-1」で検出され
た炭化水素化合物由来の信号は、「A-1」、「B-1」、
および「C-1」のいずれからも同程度検出された
と報告を受けた。

正イオン













表面応力測定

FSM-6000LE(ルケオ) ほとんど変わらない。今後、テストピースサイズ
を大きくし、洗浄後の時間軸を長くし、比較する
必要性があると思われる。

表面応力測定

総括

硝子の洗浄とは前項で述べたとおり、単に付着物を取り除くだけでなく、硝子体の組織、組成に影響なく洗浄する事が求められている。本論文のRCM 洗浄は、環境問題も含めてそれらをクリアされた内容のものである。又、おもしろいのは、RCM 洗浄法はレンズの大幅なコストダウン洗浄も可能とし、ツールを変えれば、フィルム洗浄にも使える点である。さらなる用途範囲の拡大が楽しみである。

EREZAC-EE831仕様

型式EE831
洗浄範囲207 x 295〔max〕
対象ワークウエハ4(T=0.5)、硝子207×295、レンズφ8(7=8)、フィルムA4(max)
基板供給方式オペレーターによる手動
ワーク治具打合せによる
ワーク固定方式バキューム式(ただし片面がフラット)
スクラブツール打合せによる選択
スクラブ動作(範囲)往復max350mm
スクラブ速度10~450mm/SEC (スピコンモーター仕様)
スクラブ加圧おもり(重さの単位については打合せによる)
洗浄液タンク容量40L (標準タンクはSUS製)
洗浄槽13L (液面レベルは、ステージより 16mmで、オーバフロート)
洗浄液イレイザクリーン及びイレイザリンス
一次側ユーティリティ200V 左縮空気/常用0.4~0.5MPa φ8 N2も同様でφ6
ポンプマグネットポンプ(安増防爆タイプ)
制御操作押ボタンSW
給油手作業による給油
排気必要に応じ排気口及びダクト工事要す
架台アルミフレーム(アジャスタボルト及びキャスター付)
外寸操作BOX含む W960×D1220×H1500
重量約300kg
保証期間納入据付及び立ち合い検収時点より 1年間
別途見積内訳単相100V
スクラブツール
ワーク固定治具
イレイザクリーン及びイレイザリンス
タンク内のフッ素加工(配管も含む)
おもり(規格 100g 500g 800g 及びその他)
自動供給装置
EREZAC図面 詳細

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イメージ画像
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