液晶・携帯・半導体・光学機器・タッチパネル・有機EL・フィルム

応用圧力に影響なく薄膜ガラス等の洗浄を可能としました。

より精密に、より早い洗浄を可能にした洗浄機がEREZACです。

（PAT申請中）

0.1ｍｍ以下のガラス洗浄も可能

EREZACは最小限のストレスで最大限の物理力を発揮。

これにより困難とされていた薄膜ガラスを効果的に洗浄します。

これからのガラスの薄膜化に大きく貢献できる洗浄機です。

多様性だが汎用機

EREZACはガラス、ウエハ、レンズからフィルムまでの洗浄が可能。

治具やツールを変えるだけで幅広いワークに対応します。

より効果的な治具やツールの提案もご一緒に致します。

取り換えも簡単で余計なストレスを与えません。

大幅な時間短縮が可能

完全なウエット下によるファンデルワールス力の低下と

十分な摩擦効果により、洗浄時間の大幅な短縮を可能にしました。

（ページ下部に試験データあり）

シンプルでコンパクト

誰でも使用できるようにシンプルな構造にまとめあげました。

動作は押しボタンスイッチ４つで、操作もメンテナンスも

容易にしました。サイズも操作BOX含めて

W960×D1220×H1500と作業スペースも取りません。

精密洗浄が可能です

洗浄を化学的に捉える事でシンプルな構造で高い洗浄効果を実現しました。

弊社洗浄剤“イレイザシリーズ”と組み合わせることで

イオンレベルでの洗浄を可能にします。

（ページ下部にデータあり）

資料請求、洗浄のご相談などはお問い合わせフォームより依頼下さい。

日刊工業新聞取材記事

2016年12月6日

http://www.nikkan.co.jp/articles/view/00409181

テストピース材の選定と準備

洗浄試験データ

①テストワーク材/ 強化硝子（ゴリラ）
②テストピースカット/ ダイシング（切削液・水）
10×10×0.5（分類1）27×24×0.5（分類2）前処理洗浄
n- ヘキサンで４回/５ min ビーカーを変えて、前
洗浄を行った。
ただし、Ｅピースは除く。
人工汚染
ゼブラ社の油性マッキー赤を塗布。
尚、下記のＤピース、Ｅピースは塗布しない。
又、塗布後、常温下（20℃）にて24ｈ経過のワークにて行った。

※ナトリウム水（水酸化ナトリウム25％のもの） ※超音波洗浄（100Ｖ150Ｗ　25K/HZ） ※ＩＰＡ（２- プロパノール） ※炭化水素（イソパラフィン系炭化水素） ※ピースNo は区分と分類を含めたもの

テストピースの洗浄後の評価内訳

分光透過率測定（正透過率）
SolidSpec-3700DUV（島津）

A1(RCM 洗浄）とC1 は優れた数値に至ったが、C1 は、
すすぎのIPA に助けられた経緯があって、この値
に達した。次にB1 は最後まで、ナトリウム反応
が硝子面に残ってしまった。ただ、本テストでも
う一つ注視しなければならないのは、RCM 洗浄は、
超音波洗浄に対し、約2.5 倍の短時間で洗浄した
事にある。この事は、コスト（イニシャルとラン
ニング）に大きな影響を与えると思われる。

飛行時間型二次イオン質量分析

計測器：TRIFTⅢ（アルバック）「Ａ-1」、「Ｂ-1」、および「Ｃ-1」の比較から、「Ａ
-1」から含ケイ素有機化合物由来の信号
(m/z28,43,73( 正イオン)) と鉄由来の信号
(m/z56( 正イオン)) が相対的に多く検出されたの
に対して、「Ｂ-1」と「Ｃ-1」からフッ素化合物
由来の信号が(m/z31,50,69( 正イオン),19( 負イ
オン)) と塩素由来の信号(m/z35,37( 負イオン))
が相対的に多く検出された。「Ｄ-1」で検出され
た炭化水素化合物由来の信号は、「Ａ-1」、「Ｂ-1」、
および「Ｃ-1」のいずれからも同程度検出された
と報告を受けた。

表面応力測定

FSM-6000LE（ルケオ）ほとんど変わらない。今後、テストピースサイズ
を大きくし、洗浄後の時間軸を長くし、比較する
必要性があると思われる。

総括

硝子の洗浄とは前項で述べたとおり、単に付着物を取り除くだけでなく、硝子体の組織、組成に影響なく洗浄する事が求められている。本論文のRCM 洗浄は、環境問題も含めてそれらをクリアされた内容のものである。又、おもしろいのは、RCM 洗浄法はレンズの大幅なコストダウン洗浄も可能とし、ツールを変えれば、フィルム洗浄にも使える点である。さらなる用途範囲の拡大が楽しみである。

EREZAC-EE831仕様

型式	EE831
洗浄範囲	207 x 295〔max〕
対象ワーク	ウエハ4（T＝0.5）、硝子207×295、レンズφ8（7=8）、フィルムA4(max)
基板供給方式	オペレーターによる手動
ワーク治具	打合せによる
ワーク固定方式	バキューム式（ただし片面がフラット）
スクラブツール	打合せによる選択
スクラブ動作（範囲）	往復max350mm
スクラブ速度	10～450mm/SEC （スピコンモーター仕様）
スクラブ加圧	おもり（重さの単位については打合せによる）
洗浄液タンク容量	40L （標準タンクはSUS製)
洗浄槽	13L （液面レベルは、ステージより 16mmで、オーバフロート）
洗浄液	イレイザクリーン及びイレイザリンス
一次側ユーティリティ	200V 左縮空気／常用0.4～0.5MPa φ8 N2も同様でφ6
ポンプ	マグネットポンプ（安増防爆タイプ）
制御操作	押ボタンSW
給油	手作業による給油
排気	必要に応じ排気口及びダクト工事要す
架台	アルミフレーム（アジャスタボルト及びキャスター付）
外寸	操作BOX含む　W960×D1220×H1500
重量	約300kg

保証期間	納入据付及び立ち合い検収時点より　1年間

別途見積内訳	単相100V
スクラブツール
ワーク固定治具
イレイザクリーン及びイレイザリンス
タンク内のフッ素加工（配管も含む）
おもり（規格 100g 500g 800g 及びその他）
自動供給装置