液晶・携帯・半導体・光学機器・タッチパネル・有機EL・フィルム
応用圧力に影響なく薄膜ガラス等の洗浄を可能としました。
より精密に、より早い洗浄を可能にした洗浄機がEREZACです。
(PAT申請中)
テストピース材の選定と準備
洗浄試験データ
①テストワーク材/ 強化硝子(ゴリラ)
②テストピースカット/ ダイシング(切削液・水)
10×10×0.5(分類1)27×24×0.5(分類2)
前処理洗浄
n- ヘキサンで4回/5 min ビーカーを変えて、前
洗浄を行った。
ただし、Eピースは除く。
人工汚染
ゼブラ社の油性マッキー赤を塗布。
尚、下記のDピース、Eピースは塗布しない。
又、塗布後、常温下(20℃)にて24h経過のワークにて行った。
※ナトリウム水(水酸化ナトリウム25%のもの) ※超音波洗浄(100V150W 25K/HZ) ※IPA(2- プロパノール) ※炭化水素(イソパラフィン系炭化水素) ※ピースNo は区分と分類を含めたもの
テストピースの洗浄後の評価内訳
分光透過率測定(正透過率)
SolidSpec-3700DUV(島津)
A1(RCM 洗浄)とC1 は優れた数値に至ったが、C1 は、
すすぎのIPA に助けられた経緯があって、この値
に達した。次にB1 は最後まで、ナトリウム反応
が硝子面に残ってしまった。ただ、本テストでも
う一つ注視しなければならないのは、RCM 洗浄は、
超音波洗浄に対し、約2.5 倍の短時間で洗浄した
事にある。この事は、コスト(イニシャルとラン
ニング)に大きな影響を与えると思われる。
飛行時間型二次イオン質量分析
計測器:TRIFTⅢ(アルバック)
「A-1」、「B-1」、および「C-1」の比較から、「A
-1」から含ケイ素有機化合物由来の信号
(m/z28,43,73( 正イオン)) と鉄由来の信号
(m/z56( 正イオン)) が相対的に多く検出されたの
に対して、「B-1」と「C-1」からフッ素化合物
由来の信号が(m/z31,50,69( 正イオン),19( 負イ
オン)) と塩素由来の信号(m/z35,37( 負イオン))
が相対的に多く検出された。「D-1」で検出され
た炭化水素化合物由来の信号は、「A-1」、「B-1」、
および「C-1」のいずれからも同程度検出された
と報告を受けた。
又、B-1 とC-1 から検出された
フッ素化合物については、本テストピースが届く
以前の製品のプロセスによって、例えばフッ素樹
脂の治具などにより、転写され移行されたと予想
される。ただし、A-1 からはあまり検出されてい
ないことからRCM 洗浄は、フッ素化合物等の洗浄
にも有効である事が知れる。次に塩素由来の信号
については、未洗いのワークからもあるが、洗浄
後において特にA-1 は少なく、これもまた有効と
言える。最後にA-1 からのみカリウムが検出され
ている事から、カリウムがあまり溶出していない
か、又は溶出していないことが伺い知れる。つま
り、強化硝子の構成に影響なく洗浄されていると
判断する。これは、大きな収穫でもあった。
総括
硝子の洗浄とは前項で述べたとおり、単に付着物を取り除くだけでなく、硝子体の組織、組成に影響なく洗浄する事が求められている。本論文のRCM 洗浄は、環境問題も含めてそれらをクリアされた内容のものである。又、おもしろいのは、RCM 洗浄法はレンズの大幅なコストダウン洗浄も可能とし、ツールを変えれば、フィルム洗浄にも使える点である。さらなる用途範囲の拡大が楽しみである。
EREZAC-EE831仕様
型式 | EE831 |
---|---|
洗浄範囲 | 207 x 295〔max〕 |
対象ワーク | ウエハ4(T=0.5)、硝子207×295、レンズφ8(7=8)、フィルムA4(max) |
基板供給方式 | オペレーターによる手動 |
ワーク治具 | 打合せによる |
ワーク固定方式 | バキューム式(ただし片面がフラット) |
スクラブツール | 打合せによる選択 |
スクラブ動作(範囲) | 往復max350mm |
スクラブ速度 | 10~450mm/SEC (スピコンモーター仕様) |
スクラブ加圧 | おもり(重さの単位については打合せによる) |
洗浄液タンク容量 | 40L (標準タンクはSUS製) |
洗浄槽 | 13L (液面レベルは、ステージより 16mmで、オーバフロート) |
洗浄液 | イレイザクリーン及びイレイザリンス |
一次側ユーティリティ | 200V 左縮空気/常用0.4~0.5MPa φ8 N2も同様でφ6 |
ポンプ | マグネットポンプ(安増防爆タイプ) |
制御操作 | 押ボタンSW |
給油 | 手作業による給油 |
排気 | 必要に応じ排気口及びダクト工事要す |
架台 | アルミフレーム(アジャスタボルト及びキャスター付) |
外寸 | 操作BOX含む W960×D1220×H1500 |
重量 | 約300kg |
保証期間 | 納入据付及び立ち合い検収時点より 1年間 |
別途見積内訳 | 単相100V |
スクラブツール | |
ワーク固定治具 | |
イレイザクリーン及びイレイザリンス | |
タンク内のフッ素加工(配管も含む) | |
おもり(規格 100g 500g 800g 及びその他) | |
自動供給装置 |
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