半導体ウエハー・液晶硝子洗浄のレポート

半導体ウエハー・液晶硝子の洗浄は、その集積化や品質に伴い、めざましい発展を遂げてきた。しかしその反面、高度な洗浄技術が求められ、コスト面に大きな影響を与えたのも事実である。
この原因は水とエネルギーが関係している事はいうまでもない。しかも水であり続ける以上は、水の電位と永久的に戦うほかないのである。当社ではこの原因である水の考えを捨て、飽和脂肪族一価のアルコールに油脂体を加えた化合物を造り、その溶液につきなみの方法だが半導体ウエハーにスラリーを塗布し、それを超音波洗浄を行い、フッ素化合物でリンス・乾燥させた。
結果、予想以上の効果が確かめられた。次におもしろいのは、ファンデルワールスカと電位の関係が知られているが、本液の電位特性を見ると、なんらかの因果を感じずにはいられない。
それより、なによりこの溶液はエコで既存の設備で十分であり、高度な装置化も必要としないので大幅なコストダウン化が可能になることが更におもしろい。

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