バイオエタノールによる
洗浄剤の使用範囲と
洗浄分類による比較
洗浄分類による比較と使用範囲
メインは金属・ウエハー・硝子など
| 分類 | 成分（代表的なもの） | 長所 | 短所 |
|---|---|---|---|
| 水系 | 水、機能水、界面活性剤、 アルカリ系洗剤（水酸化 ナトリウムなど） | 不燃性である 毒性が低い 種々の洗浄法と組合せ可 |
油分解力が小さい 再生が困難 排水処理を要す |
| 準水系 | グリコールエーテル類 （エチレン系など） |
油分解力が強い 多くの金属に対応可 毒性が低い |
排水処理の負荷が大 ランニングコスト高 再生が困難 |
| 炭化水素系 | 炭化水素系溶剤 （パラフィン系など） |
油分解力が強い 毒性が低い 腐食、錆の心配がない |
イオン性の汚れに対する溶解力が小さい 乾燥が遅い |
| アルコール系 | アルコール系（IPA、メタエタ）Nメチルピロリドン | 浸透性がよい 毒性が低い 蒸気洗浄が可 |
油分解力が小さい 錆が問題 |
| 塩素系 | 塩メチ、トリクロ、テトラ類 | 油分解力が強い ランニングコストが安い 浸透性が良い |
毒性が高い（発ガン物質指定） |
| フッ素系 | H C F C 、M F C 、P F C 、 HFEのハイドロクロロ類 | 毒性が低い 不燃性である |
ランニングコスト高 再生ロス大 汚れ落としが弱い |
| 臭素系 | ｎ-プロモプロパン | 不燃性である 油分解力が強い 浸透性が良い |
毒性に疑い有り ランニングコスト高 再生ロス大 |
| イレイザ クリーン （今回開発品） |
エタノール+エステル油脂（香水レベルの油脂） | 油分解力が強い イオンレベルも分解 安全でCO2削減 |
リンス（仕上）工程を要す （イレイザリンスを使用） |
